產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 干式無(wú)油設(shè)計(jì)

• 采用多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)，無(wú)需潤(rùn)滑油，避免油蒸氣污染，滿足 SEMI（半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)） 和 GMP（制藥行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)） 要求。

2. 高抽速與大抽氣能力

• 抽速范圍：比 NXL110i 更高，適用于更大腔體的快速抽真空（具體數(shù)值需參考技術(shù)手冊(cè)，通常在 100–200 m3/h 左右）。

• 極限真空：可達(dá) 10?3 mbar（0.1 Pa），適合中高真空應(yīng)用。

3. 多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)優(yōu)化

• 采用 多級(jí)串聯(lián)羅茨泵 設(shè)計(jì)，提高壓縮比，增強(qiáng)低氣壓下的抽氣效率。

• 相比單級(jí)羅茨泵，在低壓力下仍能保持穩(wěn)定性能。

4. 耐腐蝕與長(zhǎng)壽命

• 關(guān)鍵部件采用 鎳合金涂層 或 特殊防腐處理，可耐受腐蝕性氣體（如 Cl?、HF 等）。

• 適用于半導(dǎo)體刻蝕工藝中的 腐蝕性氣體環(huán)境。

5. 節(jié)能高效

• 優(yōu)化的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)降低能耗，比傳統(tǒng)油封泵節(jié)能 。

• 可選 變頻驅(qū)動(dòng)（iXM 控制器），根據(jù)負(fù)載自動(dòng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，進(jìn)一步降低能耗。

6. 低維護(hù)與長(zhǎng)運(yùn)行周期

• 無(wú)油設(shè)計(jì)減少維護(hù)需求，僅需定期清潔或更換進(jìn)氣過(guò)濾器。

• 軸承與密封件采用長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)，降低停機(jī)時(shí)間。

7. 智能控制與集成化

• 支持 RS485/Modbus 通信，可接入工廠自動(dòng)化系統(tǒng)（如 PLC 控制）。

• 可選配 Edwards 智能監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泵的狀態(tài)（溫度、振動(dòng)、負(fù)載等）。

8. 低噪音與低振動(dòng)

• 精密動(dòng)平衡轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低于 65 dB(A)，適合實(shí)驗(yàn)室和潔凈室環(huán)境。

Units			nXL110i	nXL200i
Peak pumping speed		m3h-1	< 2 x 10-2
Ultimate Vacuum (total pressure)		mbar (Torr)	7 x 10-3 (5.3 x 10-3)	7 x 10-4 (5.3 x 10-4)
Displacement (50/60hz)		m3h-1	131	283
Inlet			NW 40
Outlet			NW 25
Maximum permitted outlet pressure		bar gauge/psig	0.5 / 7.0
Operating temperature range		Celsius	10 - 40
Nominal rotational speed		rpm	9,000
Power connector 1-phase			IEC EN60320 C19
Power at ultimate		kW	0.65
Power at typical application condition (2-10 mbar)		kW	0.7 - 0.9
Flow at typical application condition		slm	3 - 15	6 - 22
Max power during ramp up		kW	1.1
Leak tightness		mbar l/s	1.0 x 10-5
Weight		kg	75	81
Noise (pressure)		dB(a)	56.7
Vibration at inlet flange		mms-1 (rms)	< 2.5

訂貨信息：

A77022320 / A770-22-320  NW40 200-230V 50/60 Hz
A77022420 / A770-22-420  NW50 200-230V 50/60 Hz